1. 设备为钨灯丝紧凑型扫描电镜，用于微纳加工工艺过程监测； 2. 分辨率：3nm@30keV；10nm@3keV; 3. 加速电压：0.2-30keV; 4. 放大分辨率：7-1000000 倍； 5. 束流范围：0.5pA-5uA。
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