德国SUSS MA6/8，曝光模式：真空接触，软接触，硬接触，接近式； 1. 极限分辨率: 0.8μm；套准精度：±0.5μm； 2. 对准方式：正面对准，背面对准（CCD 成像）； 3. 样 品 台 尺 寸 ： 最 大 Φ8"、支持Φ6" 、Φ4"、 Φ2" 和5mm*5mm ~20mm*20mm 样品。