能够在不同的衬底上,制作如:金、铂、银、铝等叉指型电极,同时也可以为客户定制叉指电极外界电路板(PCB板),一站式解决客户器件流片和后道封装键合bonding的工作。
通常可以在PMN-PT、铌酸锂、钽酸锂、特殊切向石英玻璃、硅等材质衬底上,制作金属叉指电极,从而声场、磁场、电场等实现调控。
能够在不同的衬底上,制作如:金、铂、银、铝等叉指型电极,同时也可以为客户定制叉指电极外界电路板(PCB板),一站式解决客户器件流片和后道封装键合bonding的工作。
采用常规紫外光刻、纳米级EBL电子束技术,实现从微米量级到纳米量级的金属叉指电极结构。
应用于SAW、BAW、和等离子电场激励调控太赫兹源领域。