通常可以在PMN-PT、铌酸锂、钽酸锂、特殊切向石英玻璃、硅等材质衬底上,制作金属叉指电极,从而声场、磁场、电场等实现调控。

产品特点

能够在不同的衬底上,制作如:金、铂、银、铝等叉指型电极,同时也可以为客户定制叉指电极外界电路板(PCB板),一站式解决客户器件流片和后道封装键合bonding的工作。

适用工艺

采用常规紫外光刻、纳米级EBL电子束技术,实现从微米量级到纳米量级的金属叉指电极结构。

产品应用

应用于SAW、BAW、和等离子电场激励调控太赫兹源领域。

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